bandao.com中国电科45所湿法设备进入国内主流8英寸芯片产线近日，中国电科45所（以下简称45所）研制的双8英寸全线自动化湿法整线设备进入国内主流FAB厂。该整线英寸BCD芯片工艺中的湿化学制程。

　　晶圆尺寸与工艺线宽代表湿法设备的工艺水准bandao.combandao.com，45所研制的整线英寸主流FAB厂湿法设备运行标准，自动化程度高bandao.com，系统集成度高bandao.combandao.com，覆盖了8英寸BCD芯片工艺中的湿化学工艺制程bandao.combandao.com，实现了全自动湿法去胶bandao.combandao.combandao.com、湿法腐蚀bandao.com、湿法金属刻蚀bandao.combandao.com、RCA清洗bandao.com、Marangoni干燥等工艺bandao.combandao.com。

　　一是半导体设备行业集中度高bandao.combandao.com。据中国电子专用设备工业协会统计，国内前十家半导体设备公司销售收入占国产设备企业销售收入总额的80%bandao.com。设备龙头企业与制造领军企业在工艺与设备开发方面深度合作，不断强化龙头企业地位bandao.com。二是国产半导体设备细分品种不断丰富bandao.combandao.com，逐步步入规模产业化阶段bandao.com。例如bandao.com，北京烁科中科信公司目前已实现中束流bandao.com、大束流、高能及第三代半导体等特种应用全系列离子注入机自主创新发展bandao.com，工艺段覆盖至28nm。三是资本市场对半导体设备科技创新和产业化的支撑力度日益增强。2019年以来bandao.combandao.com，多家企业借助科创板迅速实现IPO上市bandao.com，募集资金，加速科研投入，产业化进一步提速bandao.com。